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类似的qing形和对话?分?别在?欧mei、日韩等国的半导ti龙tou企业neibu发?生,他们也正在?焦急等待海外华国一个规模不大却令人不敢小觑的科技公司的最新消息。
不过他们和国nei企业家的愿望不同,他们在?nei心里不断发?chu恶狠狠的诅咒,尤其欧mei国家诅咒最mei,但愿蓝河科技的实验结果惨遭hua铁卢!
最好一直hua铁卢,永远不会成功!
很可惜他们注定会失望。
蓝河科技nei,随着盛明安手势的指挥,矗立众人跟前的那台光刻机样机在?漫长的一小时nei完成了它的第一次验收。
样机看?不见的neibu,无数比tou发?丝还?细的激光穿过几十个精密镜tou后?,准确击中锡ye滴靶,四处分?散的等离ziti被收集,将掩膜版上的图形信息透过缩图透镜完完整整复刻到xia面的晶圆,曝光晶圆。
一个小时后?,各小组汇报结果。
“完成光刻试验任务,没?有异常。”
“一小时nei成功曝光160片晶圆,比目前已知的asml euv nex3400b机型每小时曝光125片晶圆吞吐量多?达35片!套刻误差不超过2nm!”
“数据已全bu记录,gen据数据计算显示,可以在?原样机的基础上将效率提gao至少?18%,套刻误差提gao到2nm以xia。”
“一片晶圆可得芯片数量等于晶圆面积/芯片面积晶圆直径/芯片对角线长,照该公式计算我们目前使?用的12英寸晶圆一片可得到的芯片数量,不过最后?可用的芯片数目得等到封测完毕才能知dao最终的晶圆良率。”
经过光刻机曝光后?的一大块晶圆还?需要封装成一个完整的颗粒,再jin行切割,最后?测试。通过测试选chuxing能稳定、完好、容量足的芯片,剩xia不合格的bu分?就会被当成废品处理。
稳定的芯片和不合格的芯片对比得chu的数据称为晶圆良率,总良率超过90%才算可盈利的商品。
而晶圆制作过程历经三百多?个步骤,其中随便哪个步骤chu现差错就能导致整片晶圆损毁或拉低良率。
一粒肉yan看?不见的灰尘掉jin正在?制作中的晶圆,它就会立即报废,所以光刻过程必须保证在?恒温、无尘车间nei工作。
“其余数据稳定!稳定!稳定!”
“13.5nmeuv样机,实验验收完毕!”
“验收通过!”
……
一片无声沉默中,盛明安率先?开kou:“可以向上报告,准备新机研制和新项目研发?。”
xia一刻,实验室nei猛然爆发?huan呼,还?有人喜极而泣,他们埋tou苦干了四五年!
有人在?这行甚至干了十年以上,还?以为有生之年都不能看?到国产euv的诞生,怎么能想得到不仅看?到了、还?是自己参与的项目!
所以怎么能不喜极而泣?怎能不相拥huan呼?
林成建yan睛有dian?湿了,他忽然很想钻回自己的小房间,拿chu妻zi的照片将喜悦分?享给她。
国产euv的诞生代表了世界半导ti市场资源将从mei国向华国倾斜,gao通之liu的庞然大wu再不能风光多?久。
如果妻zi知dao了,她的在?天之灵也会欣wei吧。
杜颂瞥见林成建湿了的yan眶,想到发?生在?他shen上的悲惨往事?,不由?拍了拍的肩膀以示安wei。
这时陈惊璆转shen宣布:“今年每个人都能拿到一年工资份额的年终奖!”
“!!”
全年双倍工资?!
所有人发?自nei心huan呼得更加雀跃了。
其他非蓝河科技的人虽艳羡但也知dao国产光刻机的问世将会给他们各自所在?的企业带来巨大利益,所以他们年底的年终奖必然也很丰厚,实在?用不着羡慕人家。
蓝河科技国产euv样机验收通过的消息跟cha了翅膀似的,迅速飞chu去,首先?得知消息的人当然是一早就关注蓝河科技实验验收的华兴、华芯、微电zi科技和华电科等半导ti龙tou企业。
当天,华电科会议室门kou的秘书听到会议室里tou突然传来巨响,心里一惊,以为里面的人议论不和发?生混战,正思考要不要报警时,却听里tou爆发?chu洪亮的笑声。
“……”
秘书满心无语和好奇,侧耳倾听,隐约听chu几个字,拼凑chu来就是‘国产euv样机验收通过’……国产euv?!
这玩意?儿不是几个月前就爆chu验收通过了吗?
新闻和各大网络媒ti连番播放了个遍,shen在?半导ti行业,周边人张kou闭kou都是国产euv、国产芯片,仿佛买了国产芯片gu票就能大发?横财似的,连大老板都在?抢着注资蓝河科技。
秘书打开电脑搜索才发?现几个月前验收的不是euv而是光源系统,那么真正的国产euv样机被
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