来?了！

众人振奋！

一组报告：“二氧化碳脉冲激光qi无损，功率消耗在预估范围nei，光线利用率成功达到2%！”

二组报告：“散re系统启动！散re功能正常！”

三组报告：“传ganqi反馈激光和ye滴同?步对准，激光等离ziti?在预估范围nei捕获！”

四组报告……

随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传ru众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！

众人憋着一kou气没chu声，就等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音qi宣布：“gao阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提gao音量，“我?们的科研项目，激光等离ziti?极紫外?光刻光源是——”

“13.5nm！”

原本想huan呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼xi急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们chu现?了幻听。

盛明安语气里liu泻chu轻松的笑意：“恭喜大家。”

见众人没反应，他回tou，疑惑：“你们不满意吗？”

林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”

同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样zi。

雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”

杜颂捂着心脏，喃喃说?dao：“不是吧……我?整天研究的就是这?么niu逼的玩意？”

助理姑娘掐得更?狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平shen?ti?的疼痛。

“啊，”盛明安xia意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”

陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过tou了。”

盛明安又?看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷ru沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，reai实验室设备的盛明安就该拉xia脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人chu去了。

但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽qing?放纵无以言表的兴奋和激动。

第70章 山巍[02] 挽狂澜！

光源系统设备验收阶段圆满完成,接xia来就是gao阶光刻机的组装。

除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余xia零件所需还有更精确的镜tou组、反射镜，以及arf光刻胶等,国nei暂时还没有研发chu来。

但这都不是问题。

因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩xia的arf光刻胶等技术要求很gao,可相对来说，难度系数不是特别大。

林成建也很兴奋，他勉qiang保持冷静,对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计bu正在攻破20nm以xia的鳍式场效应晶tiguan工艺，尽量保证我们能够生?产chu13.5nm工艺以上更gao精度的芯片。”

鳍式场效应晶tiguan是一种防止因gao精度工艺而导致晶tiguan失去开关作用而发明的工艺，采用3d立ti?晶tiguan架构，突破芯片晶tiguan的22nm工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必须掌握的一项he心技术。

陈惊璆：“那就交给你了。”

“放心,我会尽快解决这个技术难dian。”林成建现在充满信心，又对盛明安说：“保险起见，光源系统设备最好赶紧申请专利保护。”

盛明安：“我知dao的。”

光源系统设备虽有多人团队协作发明,但真?正突破该关键xing技术的人是盛明安，所以他是申请专利的不二人选。

程院长凝视光源系统设备,长久无言。

直到林成建在盛明安shen边提议专利申请,他才回?过神来,深深呼chuxiong中那kou沉淀多年的郁气,心qing畅快，问盛明安：“你打算申请提前毕业？”

盛明安惊讶：“您知dao？”

“你是张教授的得意门生，他经常在外面chui嘘你，申市光机所谁不知dao？”程院长一想起张群芳炫耀的嘴脸就想翻白yan,他说：“如果你想申请提前毕业，光源系统被攻破这份科研成果的确能让科大酌qing考量，同意你的申请。不过同意是一方面，能不能通过考试又是另一方面的事。”

提前申请毕业可以，修足学分、通过考试。

学分不足的前提xia提前申请毕业也可以，通过科大校长、学院教授等权威人士的考验就行。

“你剩xia复习的时间也不多，这样，反正光源系统设备已经成功验收，接xia来的设备完善、光源优化由我来

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